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| 工序 | 主要目的 | 关键设备/耗材 | 质量控制点 |
| 取样 | 获取代表性观察面 | 金相切割机、砂轮片 | 无烧伤、变形层浅、位置准确 |
| 镶嵌 | 改善握持性、保护边缘 | 热镶嵌机/冷镶嵌料 | 试样镶嵌牢固、无松动 |
| 磨制 | 去除切割损伤、找平 | 金相砂纸、磨抛机 | 逐级递进、上道磨痕消失 |
| 抛光 | 获得镜面、消除划痕 | 抛光布、磨料悬浮液 | 无划痕、无变形层残留 |
| 腐蚀 | 显示显微组织 | 腐蚀剂、浸蚀皿 | 腐蚀适度、组织清晰 |
| 腐蚀剂 | 主要成分 | 适用材料 | 参考腐蚀时间 |
| 2%硝酸酒精(Nital) | 2mL硝酸+98mL无水乙醇 | 碳钢、合金钢、铸铁 | 5~30秒 |
| Keller试剂 | 1mL HF+1.5mL HCl+2.5mL HNO3+95mL水 | 铝合金、铝铸件 | 10~30秒 |
| 三氯化铁盐酸液 | 5g FeCl3+50mL HCl+100mL水 | 铜合金、不锈钢 | 5~20秒 |
| 王水甘油液 | 1份硝酸+3份盐酸+3~5份甘油 | 奥氏体不锈钢、高温合金 | 10~60秒 |