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| 步骤 | 工序 | 设备/耗材 | 关键控制点 |
| 1 | 取样 | PCB切片机+金刚石切割片 | 低速切割、防分层崩边 |
| 2 | 镶嵌 | 真空冷镶嵌机+环氧 | 竖直包埋、真空排气泡 |
| 3 | 粗磨 | PCB磨抛机/P320~P800砂纸 | 找正截面、压力宜小 |
| 4 | 细磨 | P1200~P2000砂纸 | 逐级去除上道磨痕 |
| 5 | 精抛 | 短绒布+硅胶悬浮液 | 防倒角、防铜层pull-out |
| 6 | 观察测量 | 金相显微镜/SEM | 测孔铜厚、层间对位、焊点空洞 |